四氟化碳在等离子体刻蚀中对人的危害有哪些?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/14 20:27:22
四氟化碳在等离子体刻蚀中对人的危害有哪些?

四氟化碳在等离子体刻蚀中对人的危害有哪些?
四氟化碳在等离子体刻蚀中对人的危害有哪些?

四氟化碳在等离子体刻蚀中对人的危害有哪些?
四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体,发挥性较高,是最稳定的有机化合物之一,在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物.
结论,基本无害

卤代烷都会对人的神经系统造成损伤.长期在卤代烷的蒸气下工作是不行地.