多晶硅的DcS dcs,tcs,tet个代表什么

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/05/09 11:44:05
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多晶硅的DcS
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DCS SiH2Cl2 二氯二氢硅/二氯硅烷
& O7 B* I* l& z9 W# aTCS SiHCl3 三氯氢硅/三氯硅烷9 m8 c1 B& @- R!M+ O; U1 c9 E) N
STC SiCl4 也有记作TET的,四氯硅烷& T- X8 G" Y- K* N3 o1 k7 z
Polymer:聚硅烷；硅烷聚合物

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