什么是多硅晶

来源：学生作业帮助网编辑：作业帮时间：2024/04/30 00:07:38

什么是多硅晶
什么是多硅晶

什么是多硅晶
多晶硅的生产工艺主要由高纯石英（经高温焦碳还原）→工业硅（酸洗）→硅粉（加HCL）→SiHCL3（经过粗馏精馏）→高纯SiHCL3（和H2反应CVD工艺）→高纯多晶硅.

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